機器人MCL/MFL/MFS系列
- 大型液晶玻璃基板搬運機器人/潔凈室搬運機器人/半導(dǎo)體晶片搬運用機器人
負載:50KG-165KG
動作范圍:1215mm-2650mm
控制柜:DX100/SR100
用途:搬運、半導(dǎo)體、潔凈室
產(chǎn)品詳細
適用于第6代(1500*1850mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
適用于第8代(2200*2500mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
高速、穩(wěn)定搬運,提高生產(chǎn)效率。
高度柔性動作,大幅度削減配套設(shè)備費用。
長期保持高潔凈度,降低運營成本。
大幅縮短生產(chǎn)線建立時間。
更大化利用長距離上下屈伸、低pass line以及雙手臂的特性,實現(xiàn)潔凈室內(nèi)多層液晶玻璃基板箱體內(nèi)的高速搬運。
適用于第8代(2200*2500mm)超大型液晶玻璃基板的高速搬運。
高速、穩(wěn)定搬運,提高生產(chǎn)效率。
高度柔性動作,大幅度削減配套設(shè)備費用。
長期保持高潔凈度,降低運營成本。
大幅縮短生產(chǎn)線建立時間。
更大化利用長距離上下屈伸、低pass line以及雙手臂的特性,實現(xiàn)潔凈室內(nèi)多層液晶玻璃基板箱體內(nèi)的高速搬運。